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改进了的可热处理溅射镀膜玻璃层系

改进了的可热处理溅射镀膜玻璃层系

一种可热处理的溅射镀膜玻璃层系。该层系包 括由镍或一种高镍合金构成的金属层,该金属层上面 镀一层由金属硅或镍的一种氧化物或高镍合金的一 种氧化物构成的隔离层,该隔离层上面镀一层按理论 配比的SnO

这个实施例和图2所示的实施例之间的区别在于,本实施例给每个单独的层提供一个单独的区段,不同的压力和/或不使用专门的氧化喷嘴O2。在这方面,通常所须要的就是以公知的形式控制一个适当的气压以便在任一个区段中得到的所须要的结果。例如,在全部五个区段中可采用一个大约为2x10-3乇的公称压力,然后,既可采用100%的氩的气氛,又可采用80%的O2和20%的氩的气氛,从而既可形成基本上是金属的层(100%的氩),又可形成按理论配比的氧化物镀膜(80%的O2,20%Ar)。当然,在此应该明确为了得到特别的结果,象对图2的实施例所描述的那样,如果须要,可有选择地采用不同的压力和/或喷嘴O2(未画出)。还应明确,就这两个实施例而言,为获得一种特别的结果,如厚度,速度等等,可改变所采用的对电极的数目。所有这些对于熟悉溅射镀膜技术的普通技术人员来说都是熟知的。

层D是实施本发明的特别重要的一层,在本发明中该层不仅作为层C和层E之间的紧密的粘结层,而且能可靠地明显增加本发明的优选实施例的可热处理特性。在这方面、层D是通过溅射镀膜形成的单独的层,该层本质上是由元素硅(Si)或从镍(Ni)或按重量百分比计镍含量大于约50%的一种镍合金(最好不含硅)中选择出的一种金属的一种氧化物(最好是理想配比的)组成的。在本发明的特别优选的实施例中,层D是单独形成的氧化物层,它的金属与形成层C时采用的金属相同。

图3表示用于形成上述镀膜层系的可供选择的工序。在这于实施例中,采用普通的五区段Airco-Temescal溅射镀膜机。使用十五个对电极中的九个对电极1-9(或使用全部十五个对电极)。另外,在这个实施例中,对电极1-3和7-9最好是金属的,用来作为保护氧化物(例如最好是按理论论配比的氧化锡SnO2),当然,在此亦可采用上面所推荐的各种变换和组合,因为有十五个对电极。

(d)第四层是由金属硅或由从镍和按重量百分比计镍含量至少约为50%的一种不含硅的镍合金中选择出的一种金属的氧化物或氮化物构成;

上面的三层构成了基于本发明实践的基本层。然而,还可增加某些任选层。在本发明的优选的实施例中,已发现这些任选层对本发明所涉及的某些产品来说明显增加其改进的特性。在这方面,层A又可以是将层B粘结到玻璃基板上的另一保护层。因此层A应具有不仅是使层系不受来自玻璃基板G的不良影响的特性,而且还要作为基板G和层B之间的紧密的粘接剂。在本发明的最佳实施例中,层A可以是从与层E的相同组的氧化物中选择出来,在特别优选的实施例中,层A的金属氧化物与层E采用的金属氧化物相同,且在这方面,采用的是最优选的理想配比的氧化锡(SnO2)。

本发明的目的是实现上述要求和其它要求,这些其它要求在本领域的普通技术人员看了下述的详细描述后就是明白。

在本发明中采用的用来镀膜的技术可以是任一种已知镀膜技术,但在特别优选的形式中,该技术是上述的溅射镀膜技术,在实现本发明的过程中,溅射镀膜技术中可用任何普通的溅射镀膜机实施,如用已知构造的普通Airco-Temescal多区段建筑溅射镀膜机。如图2所示,这种镀膜机可具有其普通的形式,其中,在三个区段的每个区段中采用三个对电极,因此有对电极1-9。图中所示的平玻璃板(例如以平板的形状,但要被弯曲和/或被调质成为汽车暗窗玻璃)作为玻璃基板g在皮带输送机11上(只是示意地表示出辊形)被输送通过Airco溅射镀膜机,它的区段以已知的形式被壁F隔开,壁F的下端有一个可调的通道T。按常规设置予冲洗装置13和最终冲洗装置15。

图3是用于实现本发明的Airco-Temescal五区段建筑溅射镀膜机的示意图。

在本发明的方法的某些优选的形式中,所说诸氧化物层的溅射都要在富氧气氛中进行,从而形成基本上是理论配比的氧化物。各层的优选形式如上面在描述本发明所涉及的可热处理的玻璃产品时所介绍。

从上面所述可以看出,采用本发明的独特的镀膜层系和方法可获得优良的机械寿命,光学和可热处理特性。然而,对普通技术人员来说,一了解上面公开的内容,各种其它的改变,特征或改进就成显而易见。因此这些其它的特征,改变和改进是本发明的一部分,本发明的保护范围由下面的权利要求确定。

图1是本发明所期望的一种典型镀膜层系的部分剖面图,在优选的实施例中,将该层系镀到汽车暗窗玻璃的基板上。

任选的层B除将层C紧密地粘结到层A上以外,还起着和层D相同的作用。层B可以是从与形成层D时采用的金属氧化物相同的金属氧化物中选择的,在这方面,在它的优选的实施例中,指的是与层C中采用的金属相同的金属的一种氧化物。当然,在最优选的形式中,层B,C和D的金属是Hayns  214,而层A和E的金属是锡。

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